Introduction of High-power Pulsed Magnetron Sputtering Technology (Part 2)

High Power Pulsed Magnetron sputtering Technology (Part I)

High-power pulsed magnetron sputtering (HiPIMS), proposed by Kouznetsov1 et al.

New application of HiPMS tool - high entropy alloy film manufacturing

High entropy alloy nitride film is a kind of product based on the design concept of high entropy alloy, which can have lower Gibbs free energy and lower element diffusion rate in thermodynamics and kinetics, respectively.