增强了电子发射，进而获得高的等离子体密度，离化率高、沉积速率高，这将有助于增加膜层致密性、降低膜层应力；可低温沉积，降低工件的热应力，提高工件的寿命；

可抑制阴极弧靶中毒、改善膜层结构、控制膜层颗粒污染；增加电弧稳定性和提高靶材利用率；

新铂新型脉冲阴极弧电源，实现了脉冲增强电子发射以提高真空室内等离子体密度。该电源核心由脉冲发射和维持电流系统构成，由单片机和触摸屏系统协同控制和管理，具有灭弧检测、自动重启，过流保护、过热控制和故障检测功能