在HiPIMS磁控溅射中能产生高达1000A的峰值电流,能对金属靶材产生高的离化率,由于脉冲占空比低1-10%,其平均功率与普通磁控溅射一致,不会增加靶材冷却量。因此HiPIMS技术综合了磁控溅射低温沉积,膜层表面光滑特性与电弧离子镀高离化率,膜基结合力强,膜层致密的优点,在控制涂层微观组织、降低涂层内应力,增强韧性,提高膜层平整性方面具有显著优势。
新铂HiPIMS技术优势
新铂创始人从2008年开始率先在国内开展HiPIMS电源及技术研究,自主开发HiPIMS复合DC电源,同时配合HiPIMS脉冲与脉冲偏压的同步技术,结合等离子体特点,可精准调控溅射过程中的离子原子比,实现特定膜层结构的控制生长。
1、自主开发HiPIMS复合DC电源技术
定制化高能脉冲复合电源,实现高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)的超高密度等离子体产生的高金属离化率,同时复合直流磁控溅射(DCMS)的高溅射速率,具备快速灭弧(2uS)可控复合波形,可灵活控制溅射材料的离子原子比,实现控制膜层生长,实现高致密性兼顾高沉积速率。
2、HiPIMS与脉冲偏压脉冲同步技术
HiPIMS电源配合自主开发的80K脉冲偏压电源,可以灵活调控偏压电源与HiPIMS电源的脉冲同步,实现对金属离子精准控制,避免Ar离子等杂质离子对膜层的轰击,进一步降低膜层应力,增强膜层韧性。
3、HiPIMS特定工艺定制开发能力
针对不同行业的特殊应用,可以基于20年的HiPIMS电源开发及HiPIMS工艺经验,从材料出发,基于等离子体体底层为客户定制不同的电源复合波形,配合磁控溅射等离子体源,到量产整机定制,提供整套解决方案。目前已在医疗行业表面改性、陶瓷金属化、及低损伤DLC、刀具刃口行业实现应用。