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双极HiPIMS调控生长高致密性铜薄膜

正如前文“双极HiPIMS调控薄膜生长过程中的离子能量”中我们讲到对于HiPIMS放电在负向脉冲放电完成后加一定正向脉冲,可以提高HiPIMS放电后的等离子体电势,从而加速到达基底的离子的能量,提高薄膜生长速率与质量。

管筒内壁真空镀膜方法简介

管筒内表面处理的方式最早采用的是电镀方法,但电解液污染环境。后来采用真空镀膜方法来处理管状构件内表面,包括化学气相沉积( Chemical Vapor Deposition,CVD)和物理气相沉积( Physical Vapor Deposition,PVD)。

六甲基二硅氧烷(HMDSO)前驱体制备耐腐蚀薄膜

金属制品是生活中不可或缺的,大到轮船飞机,小到铁钉螺丝。现代工业的发展,是以金属为骨骼,但是金属在使用过程中极易腐蚀。防腐蚀工艺有很多种,真空镀膜就是其一。

HiPIMS靶材溅射速率

HiPIMS由于高峰值电流及其高离化率,可以得到性能优异的致密膜层,伴随而来的HiPIMS溅射速率也会相对更低,本文将分析HiPIMS溅射速度低的原因及可能的改进方法。

HiPIMS反应溅射特性

HiPIMS电源在高致密性硬质涂层中有很好工业化利用,但是光学应用中的案例还不多,本文将介绍HiPIMS反应溅射模式下的特性。

HiPIMS自组织放电高分辨光谱影像学

因磁场约束,以及超高功率放电,高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)在放电过程中会存在局部放电增强而导致辉光闪烁的不稳定现象。当不稳定辉光存在时,其放电状态也有很大差异,辉光会形成不同的放电组织和斑图形式。伴随着这些增强型斑图辉光放电,其内部粒子成分放电状态如激发与电离存在差异,如何直观研究这些变化,高分辨光谱影像学是一种有效的手段,可直观观察不稳定区域的放电形式与变化。

直流偏压对HMDSO制备C:SiOX膜层性能的影响

HMDSO制备C:SiOX膜层具有优异的耐腐蚀性能,上篇讲到HMDSO/O2比例对膜层成分,耐腐蚀性能与硬度影响。在整个镀膜过程中,偏压也是影响HMDSO制备的C:SiOX膜层性能的因素之一。

钢管内壁沉积的类金刚石膜层的耐腐蚀性能

类金刚石碳(DLC)涂层具有高耐磨性、摩擦系数极低、耐腐蚀性高的优良性能。由于这些优良的性能,DLC涂层在石油天然气、半导体、医疗和汽车等行业中引起了广泛的关注。