HiPIMS设备:高能脉冲弧PVD设备及脉冲复合PVD设备
HiPIMS设备产品介绍:
高功率离子源在高离子电流密度下在更大面积上实现均匀、更大的离子沉积分布。
不同金属、合金和氧化物的混合溅射,膜层均匀。
全自动控制系统,防腐能力极高