高引燃脉冲新HiPIMS模式下薄膜摩擦系数可降低到0.25
-引言- -点睛- -内容-
图1 引燃脉冲个数为4时对薄膜摩擦系数
电子和离子以较高能量沉积在基体表面,将结合力较弱的原子溅射剥离,显著改善薄膜的结合强度。基体表面的温度上升,提升了沉积时粒子的迁移能量,反应离子的化学活性也增加,有效促进了反应溅射的热力学进程,使得表面更加致密,也增加了硬度。
图2 引燃脉冲个数对涂层硬度的影响
-结论-
(1)HiPIMS新模式使薄膜硬度上升。
(2)薄膜表面粗糙度、摩擦因数0.25、摩痕宽度下降。
(3)结合力增加,三和四引燃脉冲下结合力能达到HF1。
(4)膜层厚度在引燃脉冲个数为三时最大。
-参考文献-
[1]高凯晨,巩春志,徐啸尘等.高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响[J].中国表面工程,2022,35(05):145-154.