2024大湾区高能脉冲PVD高峰论坛在松山湖材料实验室成功举办

12月14日，由松山湖材料实验室、哈尔滨工业大学材料结构精密焊接与连接全国重点实验室以及等离子体放电团队孵化的高能脉冲PVD电源企业新铂科技(东莞)有限公司联合主办的“2024大湾区高能脉冲PVD高峰论坛”在松山湖材料实验室会议中心成功举行。本次会议邀请了近20位专家学者做邀请报告，共有清华大学、北京大学、哈尔滨工业大学、华南理工大学、香港城市大学、松山湖材料实验室、中国科学院金属研究所、中国科学院兰州化学物理研究所、广东省科学院新材料研究所、季华实验室、华为、华星光电、捷嘉伟创、富士康、广东汇成等百余所高校、科研院所和企业的专家学者250余人参加了本次学术会议，分享和探讨高能脉冲PVD（HiPIMS）行业领域的研究进展，涵盖半导体、航空航天、硬质刀具、3C制造等多个领域，共同探讨PVD行业难点。旨在推动校-企-研合作，利用高能脉冲磁控、高能脉冲弧赋能真空镀膜行业技术升级，进而为PVD行业的发展注入新的活力。

等离子体放电团队负责人、哈尔滨工业大学田修波教授作为大会主席主持了会议开幕式。松山湖实验室党委副书记/主任助理王玉文博士，哈尔滨工业大学材料结构精密焊接与连接全国重点实验室副主任亓钧雷教授、广东省真空学会理事长刘彭义教授、广东汇成真空李志荣总经理在开幕式上致辞。他们充分肯定了本次论坛对大湾区真空行业发展的必要性和迫切程度，大力称赞了相关从业工作者近年来所做的努力与贡献，并预祝大会圆满进行。

等离子体放电团队负责人、哈尔滨工业大学田修波教授主持开幕式

松山湖材料实验室党委副书记、主任助理王玉文博士致辞

哈尔滨工业大学焊接与连接全国重点实验室副主任亓钧雷教授致辞

广东真空学会理事长刘彭义教授致辞

广东汇成真空李志荣总经理致辞

本论坛聚焦“高能脉冲磁控”、“脉冲弧”新技术，高校和研究院所代表汇报了高端制造领域的涂层制备与应用，从顶层设计与底层逻辑角度剖析了HiPIMS的优势与局限性，展示了包括DLC、Ta-C、MAX相及多种金属基涂层及等离子体特性的研究过程，探讨了在表面防护、装饰镀及半导体领域的应用潜力；企业代表根据行业发展情况，讨论了相关行业的应用背景和技术需求，并在大会上分享了相关技术在实际应用过程中存在的问题及注意事项。田修波教授做了高能脉冲PVD电源的新进展、适配性及典型应用案例的报告分享，并总结归纳了PVD所涉及到的行业发展相关问题。

会议期间，报告精彩纷呈，与会代表踊跃提问、积极发言，会场学术气氛浓厚，来自高校、科研院所与企业家进行了充分沟通交流，达成多项合作意向，为大湾区真空行业发展注入新的活力，取得圆满成功。

本文内容源于：松山湖材料实验室

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