请问，HiPIMS高能磁控电源输出线有什么注意事项？

一、电源输出线离腔体尽量近，电源线尽量短

为了保证脉冲电流波引入到真空腔体时波形不畸变，且衰减小。期望在系统中，脉冲电镀电源与真空腔体的距离2-3m为佳，长线易对脉冲电流波形的上升、下降沿产生较大的影响，真空腔体打火时，灭弧效果有影响。

二、正负极导线使用同轴线缆或者双绞屏蔽

脉冲电源的输出衔接，导线间的电感效应越小越好。因而阴、阳极导线最好的办法就是同轴无感线。但为了省成本和线径的考虑，也可使用两根线缆高密度双绞走线，并在外层套密的金属织网屏蔽层，屏蔽层接良好的静电地，减少对外围设备的干扰。

三、 线缆线径的选择
由于是脉冲电源，为了避免趋夫效应，在导线挑选时，应挑选多股芯线作脉冲电源到真空腔体靶极的连接线。多股芯线绞织，其间的线电能够抵消其电感效应。导线的线径一定要满足其通过的平均额定电，且耐压值高于脉冲输出电压。由于脉冲电流的电流密度要比均匀电流电流密度几十倍甚上百倍，因而有必要考虑能接受脉冲电源的电流所发生的电流热效应