真空镀膜的方法有什么？

(1)真空蒸发:将需要涂膜的基材清洗干净，放入涂膜室。膜材料抽真空后加热至高温，使水蒸气达到13.3Pa左右，水蒸气分子飞到基板表面凝结成膜。

(2)阴极溅射电镀:将需要镀膜的基体放在阴极对面，进入惰性气体如氩气)需要到室内，保持压力在1.33 ~ 13.3 Pa左右，然后将阴极接在2000 v直流电源上，激发辉光放电，带正电的氩气离子撞击阴极，注入原子，通过薄膜溅射出原子，在惰性气氛中向基板上形成。

(3)化学气相沉积:对选定的金属化合物或有机化合物进行热分解，获得沉积膜的过程。

(4)离子镀:离子镀本质上是真空蒸发镀和阴极溅射镀的有机结合，具有两种工艺特点。各种涂装方式的优缺点如表6-9所示。