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HiPIMS电源可以沉积氧化物吗

HiPIMS(高功率脉冲磁控溅射,High Power Impulse Magnetron Sputtering)是一种薄膜沉积技术,它利用高频脉冲电源产生的高密度等离子体来进行材料的溅射沉积。相较于传统的直流磁控溅射(DCMS),HiPIMS技术具有更高的离子化率、更好的薄膜质量以及更均匀的薄膜厚度等优点。因此,HiPIMS技术在薄膜沉积领域得到了广泛的应用,尤其是在制备高质量、高性能薄膜材料方面表现突出。

HIPiMS技术在沉积过程中如何控制薄膜的微观结构

HIPiMS技术的核心是使用高功率脉冲放电,这导致了等离子体密度和离子化率的显著提高。通过调整脉冲峰值功率,可以改变溅射粒子的能量分布。较高的功率通常会导致更高的离子化率,从而影响薄膜的致密度和附着力。

HIPiMS技术的主要应用领域有哪些?

HIPiMS(High-Power Impulse Magnetron Sputtering,高功率脉冲磁控溅射)技术因其独特的物理和化学特性,在多个工业和科学研究领域有着广泛的应用。以下是HIPiMS技术的主要应用领域及其具体应用实例:

真空镀膜和电镀的区别

真空镀膜和电镀都是表面处理工艺,它们各自有着不同的应用范围和技术特点。下面将详细介绍这两种工艺之间的区别:

什么是真空镀膜,它有什么作用

真空镀膜技术是一种在真空条件下,利用物理或化学方法将材料蒸发或离子化后沉积于基材表面形成薄膜的过程。这种方法广泛应用于光学、电子、包装、装饰等行业,具有许多优点,如薄膜均匀性好、附着力强、厚度可控等。

HiPIMS电源的设计基础及研究进展

HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)是一种物理 气相沉积(Physical Vapor Deposition, PVD)技术,它通过高频脉冲放电在磁控溅射靶材表面产生强烈的等离子体,从而实现的材料沉积。HiPIMS技术的关键在于其电源设计,因为电源性能直接影响到等离子体密度、薄膜质量和沉积速率等重要参数。

What are the advantages of PECVD protection technology

PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) is a technique for depositing thin films, widely used in semiconductor manufacturing, solar panel production, display manufacturing, and other fields. Compared with traditional CVD (Chemical Vapor Deposition) technology, PECVD has multiple advantages, especially in terms of protection, as follows:

PECVD防护技术有哪些优势?

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积)是一种用于沉积薄膜的技术,广泛应用于半导体制造、太阳能电池板生产、显示器制造等领域。PECVD相比传统CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)技术具有多项优势,特别是在防护性方面,具体如下: