HIPiMS技术高能磁控电源输出线有什么注意事项?
一、电源输出线离腔体尽量近,电源线尽量短为了保证脉冲电流波形引入到真空腔体时波形不畸变,且衰减小。期望在系统中,脉冲电镀电源与真空腔体的距离2-3m为佳,长线易对脉冲电流波形的上升、下降沿产生较大的影响,真空腔体打火时,灭弧效果有影响。二、正负极导线使用同轴线缆或者双绞屏蔽脉冲电源的输出衔接,导线间的电感效应越小越好。因而阴、阳极导线最好的办法就是同轴无感线缆。
耗散功率竟然能影响铜溅射等离子体的行为!
本文研究了在铜溅射等离子体中耗散功率对其影响的实验结果。通过光发射光谱技术进行测量,探讨了耗散功率对铜溅射等离子体的物理特性和行为的影响。
通过实验结果发现,耗散功率的增加导致铜溅射等离子体中的电子温度和密度的增加。此外,还观察到了溅射过程中的辐射特性和粒子输运行为的变化。
管道结垢难题有解了!DLC薄膜助力石油行业发展!
在石油行业,人们正在努力提高原油回收效率。例如,注入二氧化碳可以将原油的生产效率提高10%~15%。然而,随着石油产量的增加,也面临着更多的挑战,管道腐蚀是其中之一。对于二氧化碳增强采收率(EOR)技术,生产油水混合物因高压与二氧化碳过饱和而酸化,
一文读懂溅射沉积技术
溅射镀膜是指在真空室中,利用荷能粒子轰击靶材表面,通过粒子动量传递打出靶材中的原子及其它粒子,并使其沉淀在基体上形成薄膜的技术。溅射镀膜技术具有可实现大面积快速沉积,薄膜与基体结合力好,溅射密度高、针孔少,膜层可控性和重复性好等优点,而且任何物质都可以进行溅射,因而近年来发展迅速,应用广泛。
HiPIMS:简单的方法就能调控磁控溅射中的金属/气体离子比?
1)磁控溅射:HiPIMS中简单的脉宽变化,就能调控膜层中的金属/气体离子比。
2)常规的磁控靶换成HiPIMS电源就可以达到上述效果。