HIPIMS放电等离子体特性
通过脉冲电源产生高密度等离子体来溅射靶材,从而在基材上沉积高质量的薄膜。HIPIMS技术相比于传统的直流磁控溅射技术,能够提供更高的离子化率、更好的薄膜质量和更强的薄膜与基底间的附着力。下面我们来探讨HIPIMS放电等离子体的主要特性。
HIPIMS技术沉积TiSiN纳米复合涂层探究
HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering,高功率脉冲磁控溅射)薄膜沉积方法,它在沉积TiSiN纳米复合涂层方面展现出显著的优势。与传统的直流磁控溅射(DCMS)技术相比,
hipims脉冲电源与DC优势
HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)脉冲电源与DC(Direct Current)电源相比,在多个方面展现出显著的优势。以下是对这些优势的详细分析:
HIPIMS技术在金属双极板涂层中的应用
HIPIMS技术,即高功率脉冲磁控溅射技术(High Power Impulse Magnetron Sputtering),在金属双极板涂层中的应用具有显著的优势
利用HiPIMS制备出的Ti-Si-N薄膜硬度可以达到66GPa!
Ti-Si-N是被认为是一种高硬度的膜层,Veprek(1999)提出了一种结构模型,认为是非晶包含纳米晶结构。这有点类似于我们见到的沥青和石头混合路面结构。这里的纳米晶尺寸和非晶含量的多少是很讲究的。
HiPIMS技术解决碳基涂层
HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)技术是一种先进的物理相沉积(PVD)技术,广泛用于解决碳基涂层的相关问题。碳基涂层是一种重要的功能性涂层,应用于各种工业领域,包括刀具、模具、汽车零部件等。下面将详细介绍HiPIMS技术如何解决碳基涂层的问题。
HiPIMS技术解决碳基涂层
HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)技术是一种用于制备碳基涂层的先进技术。碳基涂层是一种由碳元素构成的薄膜,具有许多优异的性质和应用。以下是关于HiPIMS技术解决碳基涂层的一些信息