6种靶材HiPIMS放电大不相同，设计工艺要知道!

HiPIMS放电，由于工作在放电曲线的特殊区域，其放电特性不仅依赖于使用的气压、电压，更依赖于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脉冲工作，其放电特性具有时间特征，而表现出不同的放电特性。这里我们选用常用的几种靶材（Cu，Cr，Mo，Ti，V和C），给出了他们的放电特性。这种与时间相关的放电特性，对于工艺设计是非常重要的。

双脉冲HiPIMS比传统HiPIMS沉积速率提高近3倍

一种新型的高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术，即放电由脉宽短、电压高的引燃脉冲和脉宽长、电压低的工作脉冲2部分组成的双脉冲高功率脉冲磁控溅射技术，目的是解决传统高功率脉冲磁控溅射沉积速率低的问题。

2023中国真空镀膜行业发展趋势高峰论坛圆满落下帷幕

HiPIMS中不同脉冲波形制备氧化铌薄膜

在Nb靶氧反应溅射时，用合适的HiPIMS脉冲波形可以抑制进气迟滞回线，在没有气体控制器下同样能保证工艺稳定性。

真空弧放电下不同寻常的阴极腐蚀图案

对于真空弧放电下的弧斑导致的阴极材料的腐蚀研究其实由来已久。对于真空弧放电下的弧斑主要有两种，一种是移动较快、较小、较暗的弧斑，主要发生在较脏的靶面和氧化的靶面；另一种是移动较慢、较大较亮的弧斑，其主要发生在干净和惰性气体放电时的靶面。

DLC涂层 - 汽车雨刮器的“便衣”

雨刮器是汽车的重要装置，对于安全行车具有至关重要的作用。

好的雨刮器必须具备耐热、耐寒、耐酸碱、抗腐蚀、能贴合挡风玻璃、减轻马达负担、低噪音、拨水性强、质软不刮伤挡风玻璃等特点，能使你视野清晰。

多孔陶瓷材料的等离子体渗透性研究

氧化锌（ZnO）作为一种高带隙半导体，以其出色的化学稳定性和生物相容性广泛应用于气体传感和催化等领域，尤其是具有三维多孔骨架结构的t-ZnO。通过控制t‐ZnO的晶体形态和缺陷结构，可以适应不同的应用，其中就包括对氧化锌进行等离子体表面改性处理来改善其电导率等性能。为了将三维多孔t‐ZnO的优点与等离子体表面改性相结合，必须让等离子体穿透到多孔骨架结构中。由于高能等离子体会导致聚合物表面C-C和C-H键的解离并使C自由基位点上附着新的原子或基团，

HiPIMS技术和dcMS技术在微孔内表面制备TiAlN薄膜的对比

新铂科技，聚焦高能等离子体表面工程硬件和工艺。
润滑油常用来提高微成形（金属冲压工艺尺寸的小型化）模具的使用寿命与加工精度，但是从污垢处理、产品污染和不稳定成型性的角度来看，无润滑油微成型工艺是行业的一个强烈需求。