HiPIMS:简单的方法就能调控磁控溅射中的金属/气体离子比?
1)磁控溅射:HiPIMS中简单的脉宽变化,就能调控膜层中的金属/气体离子比。
2)常规的磁控靶换成HiPIMS电源就可以达到上述效果。
不平凡的钒靶HiPIMS(放电区直径约30mm放电电流达140A)
金属钒(V)作为一种高熔点的稀有金属材料,常与铌、钽、钨、钼并称为难熔金属。金属钒具有耐盐酸和硫酸的性能,并且耐气-盐-水腐蚀的性能要比大多数不锈钢好。在某些特殊的重要场合,金属V薄膜常被用来作为高温隔离防护涂层,因此开展V靶HIPIMS放电特性方面的研究工作具有重要的意义。
6种靶材HiPIMS放电大不相同,设计工艺要知道!
HiPIMS放电,由于工作在放电曲线的特殊区域,其放电特性不仅依赖于使用的气压、电压,更依赖于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脉冲工作,其放电特性具有时间特征,而表现出不同的放电特性。这里我们选用常用的几种靶材(Cu,Cr,Mo,Ti,V和C),给出了他们的放电特性。这种与时间相关的放电特性,对于工艺设计是非常重要的。
双脉冲HiPIMS比传统HiPIMS沉积速率提高近3倍
一种新型的高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术,即放电由脉宽短、电压高的引燃脉冲和脉宽长、电压低的工作脉冲2部分组成的双脉冲高功率脉冲磁控溅射技术,目的是解决传统高功率脉冲磁控溅射沉积速率低的问题。
真空弧放电下不同寻常的阴极腐蚀图案
对于真空弧放电下的弧斑导致的阴极材料的腐蚀研究其实由来已久。对于真空弧放电下的弧斑主要有两种,一种是移动较快、较小、较暗的弧斑,主要发生在较脏的靶面和氧化的靶面;另一种是移动较慢、较大较亮的弧斑,其主要发生在干净和惰性气体放电时的靶面。