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磁控电源 HiPIMS-1500
输出最大功率：40kW，脉冲电压范围：200~1000V，脉冲峰值电流：1500A，脉冲频率范围：20~1000Hz，脉冲脉宽范围：10~300uS，直流电压范围：100~750V，直流最大电流：40A，模块同步：光纤
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输出最大功率：40kW，脉冲电压范围：200~1000V，脉冲峰值电流：1500A，脉冲频率范围：20~1000Hz，脉冲脉宽范围：10~300uS，直流电压范围：100~750V，直流最大电流：40A，模块同步：光纤